金融界2024年12月24日音讯,国家知识产权局信息数据显现,矽电半导体设备(深圳)股份有限公司获得一项名为“晶圆测验电路及晶圆检测体系”的专利,授权公告号 CN 222189423 U,请求日期为 2024 年 2 月。
专利摘要显现,本实用新型公开了一种晶圆测验电路及晶圆检测体系,本实用新型触及晶圆测验技术领域。其间,晶圆测验电路包含选通操控模块、扫描电压模块、电流采样模块和储能泄放模块,储能泄放模块可以对方针晶圆芯片中的电容电荷进行放电,以此保证方针晶圆芯片中电容上的电荷不存在留传。本施行例的晶圆测验电路可以铲除方针晶圆芯片中电容上的电荷然后保证输出的测验电流不受电容留传电荷的影响,从而提高了对方针晶圆芯片质量断定的准确性。
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